静電容量型変位センサで測れるものとは？

静電容量型変位センサで測れるものとは？

静電容量型変位センサは触れることなく測定の対象となる変位を高精度に測定できるものです。
静電容量型変位センサは非接触での測定となるため対象となる測定物に負荷をかけることがなく、さらに損傷も与えません。
また材質や成分の影響を受けず、金属であると無校正で測定できる特徴があります。
静電容量型変位センサで測れるものは、工作機械や光学機器、半導体やバイオサイエンス関連などです。
静電容量は絶縁された導体の間に電荷をためる能力のことを指しており、二つの導体の間に電気を流すことにより静電容量をはかることができます。
フィルムの厚みを知ることもでき、用途に応じて様々な大きさのものがあります。
小さめタイプのものは高性能でありながら超小型なため装置組込みもすることができ、コストも低めです。
ただし静電容量型変位センサは湿度が一定に保たれた環境であると力を発揮するため、湿度が急激に変わるような場所では使用することは難しくなっています。

静電容量型変位センサは薄いフィルムの厚みを測定できる

薄いフィルムの厚みを測定する事は非常に難しいものとなっており、通常の測定器具では正確な数値を得ることができないため困ることが少なくありません。
一般的には直接様々な器具を使用することが多いのですが、非常に薄い上に柔らかいものであるため、器具によっては挟み込んだときにその形状が変化してしまい、数値を取得することができないと言うケースが多いものです。
このような場合には、静電容量型変位センサを利用してこれを知ることができることを覚えておくと便利です。
静電容量型変位センサは本来へ様々な対象の変化を知るために使用するものですが、その原理は静電気の測定を行うことで実現するものであるため、これを利用してフィルムの表側と裏側の静電気の状態を知ることで、その違いから厚み算出することができます。
静電容量型変位センサはその他の変位センサとは異なり直接の変化を基準とするものではなく、2つ以上の数値の違いを利用しているものであることから、このような使い方ができるのがポイントとなっています。